16 | 狭缝扫描式激光光束能量计 | 精密光学技术实验室 | 215 | 孙秀辉 | 65935626 | 17 | 光束质量离子测量仪 | 精密光学技术实验室 | 215 | 孙秀辉 | 65935626 | 18 | 连续可调谐激光器 | 精密光学技术实验室 | 215 | 孙秀辉 | 65935626 | 19 | 光学平台 | 精密光学技术实验室 | 215 | 孙秀辉 | 65935626 | 20 | 刻蚀机 | 微纳制造与系统集成研究中心实验室 | 602 | 张之胜 | 65935626 | 21 | 匀胶机 | 微纳制造与系统集成研究中心实验室 | 602 | 张之胜 | 65935626 | 22 | 台阶仪 | 微纳制造与系统集成研究中心实验室 | 602 | 张之胜 | 65935626 | 23 | 移动掩膜曝光系统 | 微纳制造与系统集成研究中心实验室 | 602 | 张之胜 | 65935626 | 24 | 快速电铸系统 | 微纳制造与系统集成研究中心实验室 | 602 | 张之胜 | 65935626 | 25 | PECVD高温管式炉 | 微纳制造与系统集成研究中心实验室 | 604 | 李占成 | 65935627 | 26 | CVD开启式管式炉 | 微纳制造与系统集成研究中心实验室 | 604 | 李占成 | 65935627 | 27 | 单区管式炉 | 微纳制造与系统集成研究中心实验室 | 604 | 张永娜 | 65935626 | 高性能计算服务设备 序号 | 设备名称 | 设备位置 | 房间号 | 联系人 | 联系电话 | 1 | 曙光高性能计算机 | 高性能计算应用研究中心实验室 | 212/214/216 | 林小光 | 65935592 | 2 | 云存储系统 | 高性能计算应用研究中心实验室 | 212/214/216 | 林小光 | 65935592 | 3 | 云计算服务平台 | 高性能计算应用研究中心实验室 | 212/214/216 | 林小光 | 65935592 | |