精密匀胶机

仪器型号：美国Smart Coater 100

购置年月：2012年6月

仪器简介：

SmartCoater？精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的晶圆底物旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。不锈钢外壳比塑料或者镀漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定和极高的可重复性。

应用范围：

   广泛的应用于半导体生产，MEMS生产，薄膜技术，传感器以及高级封装技术之中。

技术参数：

1. 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

2. 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

3. 转动速度：0-10,000rpm(可选更高速)

4. 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

5. 马达旋涂转速稳定性能误差<±1%

6. 转速调节精度<1rpm，重复性<1rpm

7. 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

8. 支持wafer尺寸1cm-200mm

9. 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

10. 设备尺寸32cm W×44cm D×30cm H