台阶仪

仪器型号：KLA Tencor ALPHA STEP IQ

购置年月：2012年7月

仪器简介：

Alpha-Step IQ是先进的探针接触式表面轮廓仪(又叫：台阶仪或膜厚仪)，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是试行生产线及材料分析的理想选择。在其8 ？（1δ）或0.1%的台阶高度重复性以及亚埃级别的分辨率的保证下，Alpha-Step IQ能够为工艺过程的分析和监控提供最佳的重复性和性能。计算机化的系统更提供了联网和USB通讯的强大功能。Alpha-Step IQ能帮助您更及时地了解工艺状况以及提高产量。

应用范围：

该仪器提供了一整套完备的二维表面形貌分析方法，适用于各种表面，包括：半导体硅片、MEMS、微电子陶瓷、SIMS、光学表面和平面显示。Alpha-Step IQ另外还提供了丰富的选件，如：更高的垂直测量范围、用于样品定位的更大倍率的摄象头机、集成的数据处理软件和支持多语言显示等等。

技术参数：

1. 可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度；

2. 可分析表面粗糙度；

3. 具有7.5？ (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。